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제27회 공과대학 공동실험실 반도체 공정 및 분석 장비 교육
  • 글쓴이 : 홍진표(공과대학공동실험실)
  • 조회 : 787
  • 등록일 : 2020-01-13

27회 공과대학 공동실험실

반도체 공정 및 분석 장비 교육

 2006년 여름부터 시작되었던 공과대학 공동실험실 반도체공정 및 분석장비 교육이 2020225일부터 제27회가 실시 됩니다. 이번 제27회 반도체공정 및 분석장비 교육은 고려대학교 공과대학 공동실험실이 주관 합니다.

 

이번 교육은 13가지 장비에 대한 교육 입니다. 사용자 자격을 취득하려는 교내외 대학원생/연구원을 기본 자격으로 하며, 학부생의 경우에는 지도 교수님의 추천을 필요로 합니다. 교육 실습을 거친 수료자는 사용자 자격이 부여되고, 이후 예약을 통해 직접 사용할 수 있습니다.

 

- 접수 기간: ~202029()

- 교육 일정: 2020225() ~ 227() (3일간)

- 장소: 공학관 B106

- 인원: 선착순 (강좌별 제한 인원 있음)

- 참가비: 과목당 3만원

- 신청방법 : url.에 접속하여 신청 (https://forms.gle/nz9XsozL3gnfHkP29)

- 교재(공정에 대한 User Manual 및 이론자료) : 무료 제공

교육시간표 : 2020214일 메일 발송

폐강 안내 : 소수 인원(해당 강사와 조율)으로 신청된 과목은 폐강됩니다.

일정과 관련하여 특수한 본인 사정이 있으신 분은 반드시 기재 바랍니다. 교육시간표가 모두 정해진 뒤에는 변경/취소 불가합니다.

 

1. 교육 장비 목록

분석 기자재 교육에 실시되는 장비들은 마이크로/나노수준의 패턴을 형성하는 공정장 비, 미세구조를 관찰할 수 있는 측정 장비, 미세소자의 전기적 특성을 정량화할 수 있 는 장비입니다.

 (1) E-Beam Evaporator(증착기)

 (2) Reactive Ion Etching (RIE)

 (3) Inductively Coupled Plasma-Reactive Ion Etching (ICP-RIE)

 (4) E-Beam Lithography (EBL)

 (5) FESEM/EDX

 (6) FESEM/EBSD(장비 수리 중으로 해당 기간내 수리 미완료 시 폐강 합니다)

 (7) XRD(X-Ray Diffractometer)

 (8) Mask Aligner

 (9) FR-IR

 (10) Alpha-Step

 (11) Optical Profiler

 (12) UTM

 (13) ARES

2. 교육비 납입

· 고려대학교 학생은 학내 공동실험실 기기 사용료 처리방식으로 처리됩니다.

· 타 대학원생/연구원은 계좌이체나 전자계산서를 발행해 드리오니 연구비 관련 사업자등록증을 지참하여주시기 바랍니다.

3. 문의 : 02-3290-4085(공과대학 공동실험실), jphong@korea.ac.kr

 

실질적이고 필수적인 나노스케일의 재료/소자제작, 분석/평가를 위한 공정과 분석 기술 교육의 기회를 놓치지 마세요! 많은 신청 바랍니다.


첨부: 지도교수 추천서

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